在半導體制造過程中,會添加石墨粉以提高性能,半導體用石墨粉有什么使用要求呢?下面泰昌石墨小編詳細講解半導體用石墨粉的要求:
1、純度規定
半導體行業對石墨粉原料有很高的規定,尤其是兩者之間接觸的石墨器件,如果雜質過多會污染原料。因此,除了嚴格管理石墨原料的純度外,還必須通過高溫將灰度降到最低。
2、粒度分布規定
半導體工業級石墨原料要求粒度細,粒度細的石墨極易生產加工精度高,而且高溫抗壓強度高,耐磨性好和撕小。
3、耐熱性規定
半導體工業生產石墨器件,大部分需要連續加熱和冷卻,為了提高器件的使用壽命,石墨粉必須具有優良的高溫可靠性和抗高溫沖擊性能。
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